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法國piezoconcept納米定位器產(chǎn)品特點與用途
點擊次數(shù):94 更新時間:2025-08-14
 

法國Piezoconcept納米定位器技術(shù)概覽

 

 

一、品牌與產(chǎn)品概述

Piezoconcept是一家專注于高精度運動控制技術(shù)的企業(yè),主要研發(fā)壓電陶瓷驅(qū)動的納米定位系統(tǒng)。其產(chǎn)品以緊湊設(shè)計、高分辨率和快速響應(yīng)為特點,適用于需要微米甚至納米級定位的場景。

 

二、產(chǎn)品類型

? 六軸納米定位臺:支持多自由度運動

? 三軸線性位移臺:XYZ方向平移

? 旋轉(zhuǎn)定位臺:單軸角度調(diào)整

? 傾斜調(diào)整臺:用于光束對準(zhǔn)

? 混合定位系統(tǒng):結(jié)合壓電與電機(jī)驅(qū)動

? 樣品臺適配器:兼容顯微鏡載物臺

? 高速控制器:提升動態(tài)響應(yīng)

? 傳感器模塊:集成位置反饋

 

三、主要型號與技術(shù)參數(shù)

1、LT6六軸臺

? 運動范圍:100×100×100μm300×300×300μm

? 分辨率:0.1nmXYZ軸)

? 諧振頻率:500HzX軸)

 

2、PT3三軸臺

? 行程:500μm(每軸)

? 閉環(huán)精度:±0.02%

 

3RT1旋轉(zhuǎn)臺

? 角度范圍:±5°

? 分辨率:1μrad

 

4、HT200混合臺

? 粗定位步進(jìn):10mm

? 精定位壓電:200μm

 

5MS50顯微鏡載物臺

? 兼容標(biāo)準(zhǔn)物鏡

? 負(fù)載:1kg

 

6、SC100高速控制器

? 帶寬:10kHz

? 接口:USB/Ethernet

 

四、核心特點

1、高分辨率運動

采用壓電陶瓷驅(qū)動,部分型號可實現(xiàn)亞納米級步進(jìn)。

2緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計

部分定位臺厚度小于20mm,適合集成到光學(xué)設(shè)備中。

3、多自由度配置

提供三軸、六軸等組合,適應(yīng)復(fù)雜定位需求。

4、模塊化兼容

控制器與定位臺采用標(biāo)準(zhǔn)化接口,支持靈活組合。

5、實時反饋控制

部分型號集成傳感器,實現(xiàn)閉環(huán)位置調(diào)節(jié)。

 

五、應(yīng)用領(lǐng)域

1、光學(xué)顯微成像

用于共聚焦顯微鏡的樣品精確定位。

2半導(dǎo)體檢測

晶圓或掩模版的微米級對齊。

3生物技術(shù)實驗

細(xì)胞操作或微注射過程中的穩(wěn)定定位。

4、精密制造

小型元件的裝配與加工。

5、科研儀器開發(fā)

集成到光譜儀、干涉儀等設(shè)備中。

 

六、技術(shù)原理簡述

壓電陶瓷材料在電壓作用下發(fā)生形變,通過機(jī)械放大結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換為位移。閉環(huán)型號通過傳感器反饋實時修正位置誤差,開環(huán)型號依賴驅(qū)動電壓的線性控制。


 
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